| 氣體種類 | 測量范圍 | 分辨率 | 絕對誤差 | 相對誤差 |
| 流量 | (4～12) m3/min | 0.01 m3/min | —— | ±4%（F?S） |
| O2 | （0.3～25）×10-2 | 0.1×10-2 | ±0.1×10-2 | ±5% |
| 溫度 | -30℃～150℃ | 0.1 ℃ | ±1 ℃ | —— |
| 壓力 | 70.0kPa～110.0kPa | 0.1 kPa | ±0.5 kPa | ±3% |
| 零點/量程漂移 | O2：±2.5%F.S. | |||
| 重復性 | 流量：±2%F.S.；O2：相對標準偏差不大于1.5% | |||
| 響應時間 | O2：5s | |||
| 預熱時間 | <3 min | |||
| 相對濕度 | 0~95% | |||
| 工作電源 | AC220V±10%，50 Hz±1Hz | |||
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